409 ナノスクラッチ試験によるSi_3N_4/Cu薄膜界面の界面強度評価(破壊の発生とその評価,破壊の発生・進展とその評価および抑制,オーガナイスドセッション・8,第53期学術講演会)  [in Japanese]

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• NII Article ID (NAID) :

  110004870553

• NII NACSIS-CAT ID (NCID) :

  AA11881527

• Text Lang :

  JPN

• Databases :

  NII-ELS