808 イオンミキシング蒸着法による(Ti,Al)N薄膜の作製と特性評価(薄膜物性,一般セッション,第53期学術講演会)  [in Japanese]

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学術講演会講演論文集   [List of Volumes]

学術講演会講演論文集 53, 216-217, 2004-05-14  [Table of Contents]

The Society of Materials Science, Japan

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Codes

  • NII Article ID (NAID) :
    110004870608
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID) :
    AA11881527
  • Text Lang :
    JPN
  • Databases :
    NII-ELS