Si:SiO2共スパッタ膜の発光起源の一検証とデバイス応用の検討

• 三浦 健太

• 松本 敏明

• 武井 修

書誌事項

タイトル別名

• Si SiO2 キョウ スパッタ マク ノ ハッコウ キゲン ノ イチ ケンショウ ト デバイス オウヨウ ノ ケントウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 106 (348), 29-33, 2006-11-15

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• Siクラスター
• SiOX
• 可視発光
• RFスパッタ
• 周期構造
• Si cluster
• blue-light emission
• RF sputtering
• periodic structure

詳細情報

• CRID: 1520009407053273600
• NII論文ID: 110005717784
• NII論文ID: 110005717578
• NII論文ID: 10018437796
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 8572101
• NDL書誌ID: 8571907
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8572101
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8571907
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN