521 MEMS製造技術によるコンベックス形状水晶振動子の開発(ロボティクス,2.学術講演)

• 島本 尚典

  東北大

• 坂田 英治

  東北大

• 西澤 松彦

  東北大

• 安部 隆

  東北大,科技構さきがけ

書誌事項

タイトル別名

• 521 Development of convex-shaped quartz-crystal resonator by using MEMS fabrication technology

収録刊行物

• 東北支部総会・講演会　講演論文集

  東北支部総会・講演会　講演論文集 2005.40 (0), 224-225, 2005

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• quartz-crystal resonator
• mems
• convex
• reactive ion etching

詳細情報

• CRID: 1390282680921002368
• NII論文ID: 110006186442
• DOI: 10.1299/jsmeth.2005.40.224
• ISSN: 24242713
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmeth/2005.40/0/2005.40_224/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles