LFB超音波材料解析システムによるEUVL用TiO2-SiO2超低膨張ガラス基板の評価・選別法の検討

• 大橋 雄二

• 荒川 元孝

• 櫛引 淳一

Bibliographic Information

Other Title

• LFB チョウオンパ ザイリョウ カイセキ システム ニ ヨル EUVLヨウ TiO2 SiO2 チョウテイボウチョウ ガラス キバン ノ ヒョウカ センベツホウ ノ ケントウ
• 音響・超音波サブソサイエティ合同研究会
• オンキョウ チョウオンパ サブソサイエティ ゴウドウ ケンキュウカイ

Journal

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 106 (482), 25-30, 2007-01-26

  東京 : 電子情報通信学会

Keywords

• 直線集束ビーム超音波材料解析システム
• 速度計測
• 漏洩弾性表面波
• 線膨張係数
• 極端紫外線リソグラフィーシステム
• line-focus-beam ultrasonic material characterization system
• velocity measurement
• leaky surface acoustic waves
• TiO2-SiO2 ultra-low expansion glasses
• coefficient of thermal expansion
• extreme ultraviolet lithography system

Details

• CRID: 1520290883827397120
• NII Article ID: 110006202145
• NII Book ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL BIB ID: 8637749
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8637749
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles