二硫化モリブデンスパッタ膜の性状に及ぼすアルゴン分圧の影響

• 砂原 賢治

• 池田 満昭

• 村岡 善之

書誌事項

タイトル別名

• 2リュウカ モリブデン スパッタ マク ノ セイジョウ ニ オヨボス アルゴン ブンアツ ノ エイキョウ

収録刊行物

• 日本機械学会論文集. C編

  日本機械学会論文集. C編 70 (692), 1207-1212, 2004-04

  東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010

キーワード

• Tribology
• Lubrication
• Rolling Bearing
• Molybdenum Disulfide
• Sputter
• Density

詳細情報

• CRID: 1520009408918049280
• NII論文ID: 110006263867
• NII書誌ID: AN00187463
• ISSN: 03875024
• NDL書誌ID: 6935311
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6935311
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN