フライアイミラーの超精密五軸制御加工と光学特性評価

• 住田 貴之

• 橋本 義則

• 竹内 芳美

書誌事項

タイトル別名

• フライアイミラー ノ チョウセイミツ 5ジク セイギョ カコウ ト コウガク トクセイ ヒョウカ

収録刊行物

• 日本機械学会論文集. C編

  日本機械学会論文集. C編 70 (697), 2723-2729, 2004-09

  東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010

キーワード

• Ultra Precision Machining
• 5-Axis Control
• Diamond Tool
• Fly-Eye Mirror
• Fabrication
• Testing
• Optics
• EUVL

詳細情報

• CRID: 1520853833415726336
• NII論文ID: 110006264072
• NII書誌ID: AN00187463
• ISSN: 03875024
• NDL書誌ID: 7099694
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7099694
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles