半導体パルスパワー電源の現状と今後～プラズマ研究をささえる半導体パワーデバイス～２．半導体パルスパワー電源のプラズマ応用機器への適用

• 佐久川 貴志

  熊本大学

• 浪平 隆男

  熊本大学

• 勝木 淳

  熊本大学

• 秋山 秀典

  熊本大学

• 長田 俊宏

  (株)明電舎

• 小金澤 竹久

  (株)明電舎

書誌事項

タイトル別名

• Application of All Solid-State Pulsed Power Generators to Equipment Using Plasmas
• 2. 半導体パルスパワー電源のプラズマ応用機器への適用(<小特集>半導体パルスパワー電源の現状と今後〜プラズマ研究をささえる半導体パワーデバイス〜)
• 半導体パルスパワー電源のプラズマ応用機器への適用
• ハンドウタイ パルスパワー デンゲン ノ プラズマ オウヨウ キキ エ ノ テキヨウ

抄録

Recently, high-repetition-rate all-solid-state pulsed power generators with long life time and high reliability, have been developed for industrial applications with plasmas, such as high-repetition-rate pulsed gas lasers, high energy density plasma (EUV sources) and water discharges. Nowadays, power semiconductor device technology can improve the performance of fast and high-power switching devices. In practical systems, however, semiconductor switches are used with the assistance of magnetic switches because the semiconductor switches are not capable of driving the usual generators by themselves. These generators consist of semiconductor switches, step-up pulse transformers and magnetic switches. Progress of all-solid-state pulsed power generators is reviewed with particular emphasis on industrial applications with plasmas.

収録刊行物

• プラズマ・核融合学会誌

  プラズマ・核融合学会誌 81 (5), 350-354, 2005

  社団法人 プラズマ・核融合学会

キーワード

• semiconductor switch
• magnetic switch
• magnetic pulse compressor
• water discharge
• extreme ultraviolet

詳細情報

• CRID: 1390282681489762048
• NII論文ID: 110006282109
• NII書誌ID: AN10401672
• DOI: 10.1585/jspf.81.350
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD2MXmtFGnu7g%3D
• HANDLE: 2298/20290
• NDL書誌ID: 7375437
• ISSN: 09187928
• Web Site: https://kumadai.repo.nii.ac.jp/records/24927
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7375437
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/jspf/81/5/81_5_350/_pdf
• Web Site: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10455906
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • IRDB
  • NDL
  • Crossref
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  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可