MEMSを利用したレーザ=ファイバアライメント(光部品・電子デバイス実装技術,一般)  [in Japanese] Laser-to-Fiber Alignment Using MEMS Technologies  [in Japanese]

VCSEL(vertical-cavity surface-emitting laser)と光ファイバ間におけるビームアライメントを行う光モジュールを製作した。モジュールはMEMS(micro-electro-mechanical systems)技術をベースにしており、光ビーム調芯を行うために、熱駆動マイクロミラー、三次元はんだセルフアッセンブリ機能、ファイバ固定用V溝などを1チップに集積させた。マイクロミラーによって、0.08°の精度で最大4.0°まで光軸操舵が可能であり、初期に結合効率9%だったものを80%まで改善することができた。

We report a new optical beam alignment concept between a laser and an optical fiber. An integrated MEMS (micro-electro-mechanical systems) platform, which has a thermally-actuated micromirror, 3-D solder self-assembly structures and a silicon etched v-groove, is successfully fabricated and actuated for beam adjustment from a VCSEL (vertical-cavity surface-emitting laser) to a fiber. The alignment system has 4.0 degree maximum beam steering angle with the resolution of 0.08 degree/mA. With the steering angle reaching 2.5 degrees, the coupling efficiency improves to 80% from 9% initial efficiency.