5513 原子間力顕微鏡(AFM)プローブ機能付き4端子プローブの開発(J19-3 マイクロメカトロニクス(3),J19 マイクロメカトロニクス)

• 高橋 将史

  香川大

• 綾野 賢治郎

  香川大

• 橋口 原

  香川大

• 横川 隆司

  立命館大

• 藤田 博之

  東京大

書誌事項

タイトル別名

• 5513 Development of 4 point probe with an atomic force microscope probe function

抄録

We have developed a new micromachined four probe devices which can combine a function of four point measurement with atomic force microscope (AFM) observation. One probe is used as AFM probe in addition to a role of four probe measurement and has a higher resonant frequency than other probes ; when AFM measurement with tapping mode, only the probe oscillates in its resonance but others remains in stationary. This prevents interference of other three probes during AFM measurement. On the other hand, the probes are designed to be wedged shape, which will enable us to easily probe even for very small materials like carbon nano tubes.

収録刊行物

• 年次大会講演論文集

  年次大会講演論文集 2006.7 (0), 311-312, 2006

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• AFM
• four point probe
• micromashine

詳細情報

• CRID: 1390001206063921920
• NII論文ID: 110006635996
• DOI: 10.1299/jsmemecjo.2006.7.0_311
• ISSN: 24331325
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmemecjo/2006.7/0/2006.7_311/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可