416 マイクロ水流を用いた電気めっきによるマイクロチューブの製作(第2報)(OS-2 放電加工) 416 Fabrication of Microtube by Electroplating combined with Micro Fluidics

抄録

In this article, the new fabrication method of metal microtubes structure is proposed. The method consists of the combination of simple electroplating method and micro fluidics is used for the fabrication of the metal microtubes on a silicon wafer. This method makes it possible to fabricate metal microtubes array in high through-put, low cost way.

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生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会   [巻号一覧]

生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会 2006(6), 203-204, 2006-11-24  [この号の目次]

一般社団法人日本機械学会

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各種コード

  • NII論文ID(NAID) :
    110006638969
  • NII書誌ID(NCID) :
    AA11902343
  • 本文言語コード :
    JPN
  • 収録DB :
    NII-ELS