抄録
電力変換回路用還流ダイオードとして使われているSi-pinダイオードのp層とi層のライフタイムを個別に制御し、順バイアス時の蓄積電荷を抑制することで、pinダイオードの順方向電圧降下を劣化させずに効果的に逆方向回復時間を抑制できることをシミュレーションと実験により確認した。実験では各層のライフタイムを独立制御するためにp型層にSiGe用い、i層では金拡散を行った。ダイオード試作の結果、リカバリ時間50ns、50A/cm^2での順方向電圧降下として1.1Vを得ることが出来た。
電力変換回路用還流ダイオードとして使われているSi-pinダイオードのp層とi層のライフタイムを個別に制御し、順バイアス時の蓄積電荷を抑制することで、pinダイオードの順方向電圧降下を劣化させずに効果的に逆方向回復時間を抑制できることをシミュレーションと実験により確認した。実験では各層のライフタイムを独立制御するためにp型層にSiGe用い、i層では金拡散を行った。ダイオード試作の結果、リカバリ時間50ns、50A/cm^2での順方向電圧降下として1.1Vを得ることが出来た。