Calibration Method for Parallel Mechanism Using Micro Grid Pattern(Mechanical Systems)

DOI Web Site Web Site 10 References
  • TANAKA Wataru
    Mechanical Engineering Research Laboratory, Hitachi, Ltd.
  • ARAI Tatsuo
    大阪大学大学院基礎工学研究科システム創成専攻システム科学領域
  • INOUE Kenji
    山形大学大学院理工学研究科応用生命システム工学専攻
  • TAKUBO Tomohito
    大阪大学大学院基礎工学研究科システム創成専攻システム科学領域
  • PARK Choong Sik
    大阪府立産業技術総合研究所

Bibliographic Information

Other Title
  • 微細格子パターンを用いたパラレルメカニズムのキャリブレーション(機械力学,計測,自動制御)
  • 微細格子パターンを用いたパラレルメカニズムのキャリブレーション
  • ビサイ コウシ パターン オ モチイタ パラレル メカニズム ノ キャリブレーション

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Abstract

This paper investigates the calibration of the parallel mechanism stage which is set up under the microscope. The calibration method uses position data of the x and y-axis and orientation data of z-axis only using measurement method with the micro grid pattern. This paper discusses its calibration method with experiments for the stage constructed a fixed linear actuated parallel mechanism. The results show that the calibration using limited data is possible and has good performance.

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