PLC集積型マイクロミラーアレイ作製技術とスタック型インラインモニタへの応用

• 山崎 裕史

• 小川 育生

• 柳澤 雅弘

Bibliographic Information

Other Title

• PLC シュウセキガタ マイクロミラー アレイ サクセイ ギジュツ ト スタックガタ インライン モニタ エノ オウヨウ
• Fabrication of micromirror array embedded in PLC and stacked integration of in-line power monitor
• レーザ・量子エレクトロニクス
• レーザ リョウシ エレクトロニクス

Journal

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 108 (419), 155-158, 2009-01

  東京 : 電子情報通信学会

Keywords

• PLC
• マイクロミラー
• CSP-PD
• 光モニタ
• 複合機能集積光モジュール
• micromirror
• in-line optical monitor
• multi-functional integrated optical module

Details

• CRID: 1520009407572488704
• NII Article ID: 10026373039
• NII Article ID: 110007163943
• NII Article ID: 110007124065
• NII Article ID: 110007123664
• NII Book ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL BIB ID: 9794310
• NDL BIB ID: 9794113
• NDL BIB ID: 9793446
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9794310
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9794113
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9793446
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles