ベベルブラシ洗浄プロセスの開発

• 萩本 賢哉

• 岩元 勇人

書誌事項

タイトル別名

• ベベルブラシ センジョウ プロセス ノ カイハツ
• Development of bevel brush scrubbing process
• 電子デバイス
• デンシ デバイス

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 109 (81), 11-14, 2009-06

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• ベベル
• ブラシ
• 洗浄
• 物理洗浄
• ウェットプロセス
• bevel
• brush
• wet
• physical cleaning
• wet process

詳細情報

• CRID: 1520009408112779264
• NII論文ID: 110007338323
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 10274878
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/10274878
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10274878
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles