MEMS/MicrosystemからNEMS/Nanosystem : トップダウンとボトムアップの融合ナノファブリケーションとナノシステムの設計(<特集>ナノ・マイクロテクノロジーの制御理論と応用)

• 田畑 修

  京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

書誌事項

タイトル別名

• From MEMS/Microsystem to NEMS/Nanosystem : Fusion of Top Down and Bottom Up Microfabrication Approaches, and Nanosystem Design(<Special Issue>Control Theories and Applications in Nano and Micro Technologies)
• MEMS/MicrosystemからNEMS/Nanosystem--トップダウンとボトムアップの融合ナノファブリケーションとナノシステムの設計
• MEMS Microsystem カラ NEMS Nanosystem トップダウン ト ボトムアップ ノ ユウゴウ ナノファブリケーション ト ナノ システム ノ セッケイ

収録刊行物

• システム／制御／情報

  システム／制御／情報 53 (6), 250-255, 2009

  一般社団法人 システム制御情報学会

キーワード

• MEMS
• NEMS
• Microsystem
• Nanosystem
• bottom up
• top down
• microfabrication

詳細情報

• CRID: 1390282679278924160
• NII論文ID: 110007338389
• NII書誌ID: AN10062329
• DOI: 10.11509/isciesci.53.6_250
• ISSN: 24241806
• ISSN: 09161600
• HANDLE: 2433/153350
• NDL書誌ID: 10246535
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/10246535
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10246535
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • IRDB
  • NDL
  • CiNii Articles