原子間力顕微鏡における制御応用とその展望(<特集>ナノ・マイクロテクノロジーの制御理論と応用)

• 山末 耕平

  京都大学大学院工学研究科

• 引原 隆士

  京都大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Recent Trends and Perspectives on Control Application in Atomic Force Microscopy(<Special Issue>Control Theories and Applications in Nano and Micro Technologies)
• 原子間力顕微鏡における制御応用とその展望
• ゲンシカンリョク ケンビキョウ ニ オケル セイギョ オウヨウ ト ソノ テンボウ

収録刊行物

• システム／制御／情報

  システム／制御／情報 53 (6), 236-242, 2009

  一般社団法人 システム制御情報学会

キーワード

• scanning probe microscopy
• atomic force microscopy
• nanotechnology
• cantilever
• nonlinear dynamics

詳細情報

• CRID: 1390001204302194304
• NII論文ID: 110007338392
• NII書誌ID: AN10062329
• DOI: 10.11509/isciesci.53.6_236
• ISSN: 24241806
• ISSN: 09161600
• HANDLE: 2433/153335
• NDL書誌ID: 10246521
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10246521
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • IRDB
  • NDL
  • CiNii Articles