エキシマレーザを用いた有機膜の直接パターニング技術

• 有沢 崇志

• 本野 由紘

• 中 茂樹

書誌事項

タイトル別名

• エキシマレーザ オ モチイタ ユウキ マク ノ チョクセツ パターニング ギジュツ

収録刊行物

• 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編

  電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編 89 (6), 416-420, 2006-06

  東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ

キーワード

• 有機薄膜

詳細情報

• CRID: 1520009407639784320
• NII論文ID: 110007379755
• NII書誌ID: AA11412446
• ISSN: 13452827
• NDL書誌ID: 7983202
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/7983202
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7983202
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles