抄録
近年,IC内部においてスパイラルインダクタが多く用いられつつある。特に,MEMSと組み合わせ可変インダクタとして用いるなど,その構造を利用したシステムが考案されつつある。以前,我々は,これらスパイラルインダクタを基板上に作成し,Printed Spiral Inductor(PSI)と呼び,PSIのインダクタンスを,実測,および数値計算によって導出する手法を開発した。本研究においては,同じ規格の2つのPSIを同一平面上で2重巻きにした場合の1層2重巻構造の素子と,2層に配置した2層1重巻構造の素子を作成し,それらを用いた発振器を作成する。さらに,2つのPSI間に発生する相互インダクタンスを利用し,外部信号による発振器の発振周波数の変調を試みる。
Recently, a lot of spiral inductors are used on IC. Especially, some variable inductor using the spiral inductor and MEMS are researched. We made the spiral inductors on a printed board, called the element Printed-Spiral-Inductor (PSI), and developed an actual measurement method and a computer calculation method of the inductance of PSI. In this study, we make a single-layer-and-double-scroll element, which same two PSIs are constructed on a printed board as a double scroll, and a double-layer-and-single-scroll element, which same two PSIs are constructed on each layer. Then, two kinds of oscillators are made using the single-layer-and-double-scroll PSI or the double-layer-and-single-scroll PSL In addition, the oscillation frequencies of the oscillators are modulated by using the external signal and the mutual inductance between two PSIs.
