P2-14 単結晶シリコン加速度センサの構成(ポスターセッション2(概要講演))

• 菅原 澄夫

  石巻専修大理工

• 寺田 二郎

  松下電子部品

書誌事項

タイトル別名

• P2-14 Construction of Single Crystal Silicon Acceleration Sensor(Short presentation for poster)

収録刊行物

• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

  超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集 25 (0), 185-186, 2004-10-27

  特定非営利活動法人 超音波エレクトロニクス協会

詳細情報

• CRID: 1390845713024105728
• NII論文ID: 110007458376
• DOI: 10.24492/use.25.0_185
• ISSN: 24331910
• ISSN: 13488236
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles