E-10 電子線超音波顕微鏡によるSi Tr-Chipの拡散層の検出(超音波顕微鏡) E-10 Imaging of Diffused Regions in a Si Tr-Chip by Electron-Acoustic Microscopy

収録刊行物

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集   [巻号一覧]

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集 (9), 163-164, 1988-12-07  [この号の目次]

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会

プレビュー

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各種コード

  • NII論文ID(NAID) :
    110007460216
  • NII書誌ID(NCID) :
    AN10578660
  • 本文言語コード :
    JPN
  • 収録DB :
    NII-ELS