PF7 3インチφダイヤモンドSAW基板の開発(ポスターセッション3)  [in Japanese] PF7 Development of 3" φ poly-crystalline Diamond Wafer for SAW Devices  [in Japanese]

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Codes

• NII Article ID (NAID) :

  110007461162

• NII NACSIS-CAT ID (NCID) :

  AN10578660

• Text Lang :

  JPN

• Databases :

  NII-ELS