OB05 バルク波による圧電ウエハの評価(材料・計測)  [in Japanese]

    • 王 守〓
    • 三菱マテリアル(株)電子デバイス開発センター
    • 宇田 聡
    • 三菱マテリアル(株)電子デバイス開発センター

Journal

Symposium on ultrasonic electronics   [List of Volumes]

Symposium on ultrasonic electronics (21), 19-20, 2000-11-06  [Table of Contents]

Steering committee of symposium on ultrasonic electronics

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Codes

  • NII Article ID (NAID) :
    110007463966
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID) :
    AN10578660
  • Text Lang :
    JPN
  • Databases :
    NII-ELS