分子動力学シミュレーションによる硬質炭素膜形成メカニズムの解析

• 村上 泰夫

• 浜口 智志

書誌事項

タイトル別名

• ブンシ ドウリキガク シミュレーション ニ ヨル コウシツ タンソ マク ケイセイ メカニズム ノ カイセキ
• Analyses of hard carbon film formation mechanisms by molecular dynamics simulations

抄録

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会

収録刊行物

• プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編

  プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編 85 (10), 674-679, 2009-10

  名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会

キーワード

• diamond-like carbon
• molecular dynamics simulation
• surface reaction
• deposition
• plasma CVD
• hard coating

詳細情報

• CRID: 1520853834273464448
• NII論文ID: 110007468378
• NII書誌ID: AN10401672
• ISSN: 09187928
• NDL書誌ID: 10476169
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10476169
• Web Site: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10457633
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • NDL-Digital
  • CiNii Articles
  • KAKEN