LIGAライクプロセスを用いた微小感熱素子の作製 Fabrication of Micro Thermal Device Using LIGA Like Process

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著者

    • 堀川 教世 HORIKAWA Noriyo
    • 富山県立大学工学部機械システム工学科 Department of Mechanical System Engineering, Faculty of Engineering, Toyama Prefectural University
    • 春山 義夫 HARUYAMA Yoshio
    • 富山県立大学工学部機械システム工学科 Department of Mechanical System Engineering, Faculty of Engineering, Toyama Prefectural University
    • 島 聡史 SHIMA Satoshi
    • 富山県立大学工学部機械システム工学科 Department of Mechanical System Engineering, Faculty of Engineering, Toyama Prefectural University

収録刊行物

  • 富山県立大学紀要

    富山県立大学紀要 19, pp24-29, 2009-03

    富山県立大学

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    110007479468
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10358595
  • 本文言語コード
    JPN
  • 雑誌種別
    大学紀要
  • ISSN
    09167633
  • NDL 記事登録ID
    10257670
  • NDL 雑誌分類
    ZV1(一般学術誌--一般学術誌・大学紀要)
  • NDL 請求記号
    Z22-1659
  • データ提供元
    NDL  NII-ELS 
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