26aYK-13 収差補正走査型透過電子顕微鏡法によるシリコン結晶中ヒ素ドーパントの検出(X線・粒子線(電子線),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)

• 大島 義文

  JST-CREST:東工大

• 橋本 豊

  東工大

• 澤田 英敬

  JST-CRESTA:日本電子

• 橋川 直人

  ルネサステクノロジ

• 朝山 匡一郎

  ルネサステクノロジ

• 近藤 行人

  JST-CRESTA:日本電子

• 谷城 康眞

  JST-CREST:東工大

• 高柳 邦夫

  JST-CREST:東工大

書誌事項

タイトル別名

• 26aYK-13 Detection of Arsenic Atoms doped in Silicon Crystalline using Spherical Aberration Corrected Scanning Transmission Electron Microscope

収録刊行物

• 日本物理学会講演概要集

  日本物理学会講演概要集 64.2.4 (0), 870-, 2009

  一般社団法人 日本物理学会

詳細情報

• CRID: 1390282680946889216
• NII論文ID: 110007499186
• DOI: 10.11316/jpsgaiyo.64.2.4.0_870_3
• ISSN: 21890803
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles