大気圧マルチガスプラズマ源の開発と産業応用(研究技術ノート)  [in Japanese] Development and Industrial Applications of Atomospheric Multi-Gas Plasma Sources(Research and Technology Note)  [in Japanese]

Abstract

大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず,物質への連続照射が可能であるため,低コストな高速処理が可能である.このため,ここ数年,塗装性や接着性向上,表面クリーニングなどに使用され始めている.従来の大気圧プラズマ源では使用できるガスに制限があったが,筆者らは様々なガスをプラズマ化できる,マルチガスプラズマ源を開発した.本稿では,3種類の大気圧マルチガスプラズマ源およびその応用例について記述する.

Journal

Journal of plasma and fusion research   [List of Volumes]

Journal of plasma and fusion research 86(1), 40-42, 2010-01-25  [Table of Contents]

The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research

References:  9

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Cited by:  1

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Codes

  • NII Article ID (NAID) :
    110007521525
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID) :
    AN10401672
  • Text Lang :
    JPN
  • Article Type :
    Journal Article
  • ISSN :
    09187928
  • NDL Article ID :
    10569401
  • NDL Source Classification :
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL Call No. :
    Z15-8
  • Databases :
    CJP  CJPref  NDL  NII-ELS 

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