大気圧マルチガスプラズマ源の開発と産業応用(研究技術ノート) Development and Industrial Applications of Atomospheric Multi-Gas Plasma Sources(Research and Technology Note)

抄録

大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず,物質への連続照射が可能であるため,低コストな高速処理が可能である.このため,ここ数年,塗装性や接着性向上,表面クリーニングなどに使用され始めている.従来の大気圧プラズマ源では使用できるガスに制限があったが,筆者らは様々なガスをプラズマ化できる,マルチガスプラズマ源を開発した.本稿では,3種類の大気圧マルチガスプラズマ源およびその応用例について記述する.

収録刊行物

プラズマ・核融合学会誌   [巻号一覧]

プラズマ・核融合学会誌 86(1), 40-42, 2010-01-25  [この号の目次]

社団法人プラズマ・核融合学会

参考文献:  9件

参考文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

被引用文献:  1件

被引用文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

プレビュー

プレビュー

各種コード

  • NII論文ID(NAID) :
    110007521525
  • NII書誌ID(NCID) :
    AN10401672
  • 本文言語コード :
    JPN
  • 資料種別 :
    NOT
  • ISSN :
    09187928
  • NDL 記事登録ID :
    10569401
  • NDL 雑誌分類 :
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号 :
    Z15-8
  • 収録DB :
    CJP書誌  CJP引用  NDL  NII-ELS