抄録
大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず,物質への連続照射が可能であるため,低コストな高速処理が可能である.このため,ここ数年,塗装性や接着性向上,表面クリーニングなどに使用され始めている.従来の大気圧プラズマ源では使用できるガスに制限があったが,筆者らは様々なガスをプラズマ化できる,マルチガスプラズマ源を開発した.本稿では,3種類の大気圧マルチガスプラズマ源およびその応用例について記述する.
大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず,物質への連続照射が可能であるため,低コストな高速処理が可能である.このため,ここ数年,塗装性や接着性向上,表面クリーニングなどに使用され始めている.従来の大気圧プラズマ源では使用できるガスに制限があったが,筆者らは様々なガスをプラズマ化できる,マルチガスプラズマ源を開発した.本稿では,3種類の大気圧マルチガスプラズマ源およびその応用例について記述する.