エリプソメトリによる薄膜堆積初期過程の「その場」計測

• 密岡 久仁彦

• 山口 十六夫

• 畑中 義式

Bibliographic Information

Other Title

• エリプソメトリ ニ ヨル ハクマク タイセキ ショキ カテイ ノ ソノバ ケイ

Abstract

記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子

Journal

• 静岡大学電子工学研究所研究報告

  静岡大学電子工学研究所研究報告 23 (2), p111-126, 1989-03

  浜松 : 静岡大学電子工学研究所

Details

• CRID: 1520853835227065856
• NII Article ID: 110007531522
• NII Book ID: AN00103204
• ISSN: 02863383
• NDL BIB ID: 3232918
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3232918
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles