反磁性グラファイト板を用いた非接触二次元位置制御形アクチュエータ試作器における磁気支持剛性の改良

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タイトル別名
  • ハンジセイ グラファイトバン オ モチイタ ヒセッショク 2ジゲン イチ セイギョケイ アクチュエータ シサクキ ニ オケル ジキ シジ ゴウセイ ノ カイリョウ
  • Improvement of magnetic stiffness on the proto-model of contact-free two-dimensional micro positioning actuator by using diamagnetic graphite plate

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抄録

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