2P3-5 レーザプローブによるRF BAW素子における焦点補正ための多層走査(ポスターセッション)

• 呉 楠

  千葉大

• 橋本 研也

  千葉大

• 大森 達也

  千葉大

• 山口 正恒

  千葉大

書誌事項

タイトル別名

• 2P3-5 Multilayer scanning of RF BAW device for focus adjustment by laser probe system(Poster Session)

収録刊行物

• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

  超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集 30 (0), 273-274, 2009-11-18

  特定非営利活動法人 超音波エレクトロニクス協会

詳細情報

• CRID: 1390282763069767808
• NII論文ID: 110007721697
• DOI: 10.24492/use.30.0_273
• ISSN: 24331910
• ISSN: 13488236
• 本文言語コード: en
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles