S1302-1-5 レーザ微細加工に関する研究 : 微細配線の作製(超精密加工(1))

• 小野寺 洋平

  埼玉大

• 池野 順一

  埼玉大

書誌事項

タイトル別名

• S1302-1-5 Study on micro formation with laser : Manufacturing of micro silver wiring

抄録

Recently, AV equipments are required high quality image. In case of PDF, the micro wiring on display panel has enable high-definition image. In this paper, it tried to form the micro silver wiring by laser direct irradiation. As the result, we succeeded forming micro silver wiring, width : 48μm and electrical resistivity : 2.5×10^<-6>Ω・cm.

収録刊行物

• 年次大会講演論文集

  年次大会講演論文集 2009.4 (0), 251-252, 2009

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• PDF
• micro wiring
• laser machining
• YVO_4laser
• silver paste

詳細情報

• CRID: 1390282681040527872
• NII論文ID: 110007861911
• DOI: 10.1299/jsmemecjo.2009.4.0_251
• ISSN: 24331325
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmemecjo/2009.4/0/2009.4_251/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可