310 固体アルカリを用いた半導体用PFC14の乾式分解(大気環境保全・改善技術(2))

• 竹内 章浩

  中部電力

• 渡邉 徴雄

  中部電力

• 岩佐 慶夫

  中部電力

• 鈴木 憲司

  名大エコトピア

• 平林 大介

  名大エコトピア

書誌事項

タイトル別名

• 310 Dry decomposition of PFC14 with solid alkali reactant

抄録

An effective decomposition method for perfluorocarbon-14 (PFC14 ; CF_4) which is known as a global warming substance, has been developed. Successfully, this method decomposed PFC14 under dry conditions using a solid alkali and γ-alumina, and any liquid waste treatment was not required for outlet gas treatment as an expecting feature. We found that fluorocarbon-14 was decomposed quite enough, and the experimental result could be satisfied with the national criterion. The decomposition temperature was lower than that with the typical combustion system applied for almost all perfluorocarbons except for PFC14.

収録刊行物

• 環境工学総合シンポジウム講演論文集

  環境工学総合シンポジウム講演論文集 2009.19 (0), 283-285, 2009

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• Perfluorocarbon Decomposition
• Dry Process
• Treatment Temperature

詳細情報

• CRID: 1390001205837961984
• NII論文ID: 110008009222
• DOI: 10.1299/jsmeenv.2009.19.283
• ISSN: 24242969
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmeenv/2009.19/0/2009.19_283/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可