24aPS-37 Si結晶の高角度入射-STEM像の定量解析(24aPS 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))

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書誌事項

タイトル別名
  • 24aPS-37 A Dopant Cluster in Sb-doped Si crystal studied by HAADF-STEM

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680953323392
  • NII論文ID
    110008099642
  • DOI
    10.11316/jpsgaiyo.65.2.4.0_847_1
  • ISSN
    21890803
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles

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