放射角制御可能なマイクロカラム用電子銃の作成と評価

• 藤野 高弘

• 高木 康男

• 小池 昭史

書誌事項

タイトル別名

• ホウシャカク セイギョ カノウ ナ マイクロカラムヨウ デンシジュウ ノ サクセイ ト ヒョウカ
• Fabrication and evaluation of electron gun for the micro-column to control a radiation angle
• 電子デバイス
• デンシ デバイス

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 110 (249), 39-42, 2010-10

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• マイクロカラム
• マルチビーム
• マスクレスリソグラフィー
• イマージョンレンズ
• Micro-colmun
• Multi-beam
• Maskless lithography
• immersion lens

詳細情報

• CRID: 1520572357359529856
• NII論文ID: 110008106242
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 10882200
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10882200
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles