自動化超高速化量子分子動力学法の開発とシリコン酸化膜形成の反応解析への応用

• 坪井 秀行

  東北大学大学院工学研究科

• 稲葉 賢二

  東北大学大学院工学研究科

• 伊勢 真理子

  東北大学大学院工学研究科

• 林 由紀江

  東北大学大学院工学研究科

• 鈴木 裕佳

  東北大学大学院工学研究科

• 佐藤 裕美

  東北大学大学院工学研究科

• 小原 幸子

  東北大学大学院工学研究科

• 南雲 亮

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 三浦 隆治

  東北大学大学院工学研究科

• 鈴木 愛

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 畠山 望

  東北大学大学院工学研究科

• 遠藤 明

  東北大学大学院工学研究科

• 高羽 洋充

  東北大学大学院工学研究科

• 久保 百司

  東北大学大学院工学研究科

• 宮本 明

  東北大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Development of Automated System of Ultra-Accelerated Quantum Chemical Molecular Dynamics Method and Its Application to Silicon/Insulator Interface Formation Technologies

抄録

外部の量子化学計算プログラムを呼び出してエネルギー計算を行い得られた原子間エネルギーを元に分子動力学用ポテンシャルパラメータをフィッティングする機能を既存の分子動力学計算プログラムに導入することで,化学反応を考慮した分子動力学シミュレーションの実現に成功した.この新開発プログラムを用いることによりシリコン表面の酸化反応プロセスのダイナミクスを解析することが可能となった.

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス

  電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 110 (241), 67-68, 2010-10-14

  一般社団法人電子情報通信学会

キーワード

• 自動化超高速化量子分子動力学法
• シミュレーション
• シリコン酸化膜形成
• 酸化反応ダイナミクス

詳細情報

• CRID: 1573105976846115456
• NII論文ID: 110008106359
• NII書誌ID: AN10013254
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles