PIGプラズマCVD法によるDLCコーティング技術(研究技術ノート)

• 寺山 暢之

書誌事項

タイトル別名

• PIGプラズマCVD法によるDLCコーティング技術
• PIG プラズマ CVDホウ ニ ヨル DLC コーティング ギジュツ
• DLC Coating Technology by PIG-Plasma CVD Method(Research and Technology Note)
• PIGプラズマCVD法によるDLCコーティング技術
• DLC coating technology by PIG-plasma CVD method

抄録

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会

収録刊行物

• プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編

  プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編 87 (8), 548-555, 2011-08

  名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会

キーワード

• diamond like carbon
• penning ionization gauge discharge type plasma CVD
• tribology

詳細情報

• CRID: 1520853833842326272
• NII論文ID: 110008712082
• NII書誌ID: AN10401672
• ISSN: 09187928
• NDL書誌ID: 11221271
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I11221271
• Web Site: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10458269
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • NDL-Digital
  • CiNii Articles