21pGE-2 50pm分解能STEMによる原子欠陥の個別識別 : ドーパント(21pGE 領域10,領域4合同シンポジウム:格子欠陥・ナノ構造の3次元実空間解析,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))

• 大島 義文

  大阪大学超高圧電顕センター

書誌事項

タイトル別名

• 21pGE-2 Visualization of individual dopant atoms in Silicon crystal by High-Resolution Scanning Transmission Electron Microscope

収録刊行物

• 日本物理学会講演概要集

  日本物理学会講演概要集 66.2.4 (0), 971-, 2011

  一般社団法人 日本物理学会

詳細情報

• CRID: 1390282680955147904
• NII論文ID: 110008760800
• DOI: 10.11316/jpsgaiyo.66.2.4.0_971_3
• ISSN: 21890803
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles