25aCK-2 Si上のSiO_2膜中の穴の広がり : モンテカルロ・シミュレーション(25aCK 結晶成長,領域9(表面・界面,結晶成長))

• 齋藤 幸夫

  慶大理工

• Leroy Frederic

  マルセイユ大CINaM

• Cheynis Fabien

  マルセイユ大CINaM

• Muller Pierre

  マルセイユ大CINaM

書誌事項

タイトル別名

• 25aCK-2 Void Expansion in SiO_2 layer on Si Substrate : Monte Carlo Simulation

収録刊行物

• 日本物理学会講演概要集

  日本物理学会講演概要集 67.1.4 (0), 943-, 2012

  一般社団法人 日本物理学会

詳細情報

• CRID: 1390282680962091136
• NII論文ID: 110009568282
• DOI: 10.11316/jpsgaiyo.67.1.4.0_943_4
• ISSN: 21890803
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles