微細3次元デバイスに向けたシリサイドショットキーS/Dの界面制御方法の提案

• 田村 雄太

• 吉原 亮

• 角嶋 邦之

書誌事項

タイトル別名

• ビサイ 3ジゲン デバイス ニ ムケタ シリサイドショットキー S/D ノ カイメン セイギョ ホウホウ ノ テイアン
• Interface controlled silicide Schottky S/D for future 3D devices
• シリコン材料・デバイス
• シリコン ザイリョウ ・ デバイス

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 121 (92), 87-92, 2012-06-21

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• 積層構造
• シリサイド
• 界面制御
• ショットキー障壁
• stacked-structure
• silicide
• interface control
• Schottky barrier height

詳細情報

• CRID: 1520009407331736576
• NII論文ID: 110009588311
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 023811464
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023811464
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles