27pPSA-58 MOS構造表面からの電圧印加による脱離種の解析(領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • Analysis of desorption species from MOS structure surfaces induced by gate voltages

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680966419968
  • NII論文ID
    110009756314
  • DOI
    10.11316/jpsgaiyo.68.2.4.0_821_2
  • ISSN
    21890803
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles

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