C-38 全壁面送風時水平層流クリーンルームにおける側壁・天井などからの発散粒子の汚染区域の理論予測

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タイトル別名
  • C-38 Theoretical Prediction of Possible Contaminated Area with Particles from Side-walls and Ceiling in Horizontal Laminar-flow Cleanrooms

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680213568768
  • NII論文ID
    110009764430
  • DOI
    10.18948/shasetaikai.1992.0_693
  • ISSN
    24242179
    18803806
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles

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