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- 篠原 武一
- ソニーセミコンダクタ株式会社IS開発部門
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- 渡辺 一史
- ソニーセミコンダクタ株式会社IS開発部門
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- 阿部 高志
- ソニー株式会社R&Dプラットフォームセミコンダクタテクノロジー開発部門
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- 太田 和伸
- ソニー株式会社R&Dプラットフォームセミコンダクタテクノロジー開発部門
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- 中山 創
- ソニーセミコンダクタ株式会社IS開発部門
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- 森川 隆史
- ソニー株式会社R&Dプラットフォームセミコンダクタテクノロジー開発部門
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- 大野 圭一
- ソニー株式会社R&Dプラットフォームセミコンダクタテクノロジー開発部門
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- 杉本 大
- ソニーセミコンダクタ株式会社IS開発部門
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- 門村 新吾
- ソニー株式会社R&Dプラットフォームセミコンダクタテクノロジー開発部門
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- 平山 照峰
- ソニー株式会社R&Dプラットフォームセミコンダクタテクノロジー開発部門
書誌事項
- タイトル別名
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- Three-dimensional Structures for High Saturation Signals and Crosstalk Suppression in 1.20 μm Pixel Back-Illuminated CMOS Image Sensor
- 1.2μm裏面照射型イメージセンサにおける飽和信号増大と混色抑制のための三次元構造
- 1.2mm リメン ショウシャガタ イメージセンサ ニ オケル ホウワ シンゴウ ゾウダイ ト コンショク ヨクセイ ノ タメ ノ サンジゲン コウゾウ
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抄録
新規に開発した1.20μm画素の裏面照射型CMOSイメージセンサに搭載した縦型転送ゲート(VTG)と埋め込み遮光メタル(BSM)に関して報告する。どちらの技術もSi基板内に絶縁材料と導電材料を埋め込んだ、三次元的な構造を持っている。我々は白点や暗電流、信頼性を悪化させることなく、VTGでは約60%の飽和特性の向上、BSMでは斜め光に対する混色を50%程度に抑える効果を実現した。
収録刊行物
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- 映像情報メディア学会技術報告
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映像情報メディア学会技術報告 38.15 (0), 7-10, 2014
一般社団法人 映像情報メディア学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679506889088
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- NII論文ID
- 110009807482
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- NII書誌ID
- AN1059086X
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- ISSN
- 24241970
- 13426893
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- NDL書誌ID
- 025385888
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可