プローブ圧力によるトランジスタ特性変動評価と圧力抽出手法

• 岡垣 健

• 長谷川 拓実

• 高篠 裕行

書誌事項

タイトル別名

• プローブ アツリョク ニ ヨル トランジスタ トクセイ ヘンドウ ヒョウカ ト アツリョク チュウシュツ シュホウ
• Tr variance evaluation induced by probing pressure and its stress extraction methodology in 28nm High-K and Metal Gate process
• シリコン材料・デバイス
• シリコン ザイリョウ ・ デバイス

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 114 (174), 83-86, 2014-08

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• プローブ圧力
• Vth変動
• probing pressure
• Vth fluctuation

詳細情報

• CRID: 1520009409322217344
• NII論文ID: 110009947248
• NII論文ID: 110009947286
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 025769000
• NDL書誌ID: 025770410
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/025769000
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025769000
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/025770410
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025770410
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles