103 XeF_2ガスエッチングと水素アニールによるシリコンマイクロレンズの製作

• 菅原 寿紘

  東北大

• 阿部 洋輔

  東北大院

• 穂苅 遼平

  東北大院

• 吉田 優樹

  東北大院

• 佐々木 敬

  東北大院

• 金森 義明

  東北大院

• 羽根 一博

  東北大院

書誌事項

タイトル別名

• 103 Fabrication of Silicon Microlenses by Xenon Difluoride Gas Etching and Hydrogen Annealing

収録刊行物

• 東北支部総会・講演会　講演論文集

  東北支部総会・講演会　講演論文集 2014.49 (0), 7-8, 2014

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• Micromachining
• Microlenses
• Silicon
• Xenon Difluoride
• Hydrogen Annealing

詳細情報

• CRID: 1390282680920585472
• NII論文ID: 110009949004
• DOI: 10.1299/jsmeth.2014.49.7
• ISSN: 24242713
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmeth/2014.49/0/2014.49_7/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles