175 2軸ロイドミラー干渉計によるスケール格子の製作に関する研究

• 李 星輝

  東北大

• 清水 裕樹

  東北大

• 伊東 聡

  東北大

• 高 偉

  東北大

書誌事項

タイトル別名

• 175 Fabrication of scale grating by using a two-axis Lloyd's mirror interferometer

収録刊行物

• 東北支部総会・講演会　講演論文集

  東北支部総会・講演会　講演論文集 2014.49 (0), 147-148, 2014

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• Grating
• Laser interference lithography
• Measurement
• Surface encoder

詳細情報

• CRID: 1390282680920547968
• NII論文ID: 110009949074
• DOI: 10.1299/jsmeth.2014.49.147
• ISSN: 24242713
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmeth/2014.49/0/2014.49_147/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles