20am2-F2 デバイスを使ったシリコン疲労

• 池原 毅

  産業技術総合研究所

書誌事項

タイトル別名

• 20am2-F2 Fatigue and its measurement using silicon devices

抄録

Fatigue tests are required to develop reliable silicon MEMS devices operated under high, repetitive stress. Various test elements are reviewed to design fatigue-test devices including an actuator and/or a displacement sensor based on recently published standards. An example is shown for a feedback-oscillated device using a rotational MEMS resonator using electrostatic comb electrodes.

収録刊行物

• マイクロ・ナノ工学シンポジウム

  マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2014.6 (0), _20am2-F2--_20am2-F2-, 2014

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• MEMS devices
• silicon
• fatigue test
• amplitude control
• resonator

詳細情報

• CRID: 1390001205903668736
• NII論文ID: 110009950603
• DOI: 10.1299/jsmemnm.2014.6._20am2-f2-
• ISSN: 24329495
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmemnm/2014.6/0/2014.6__20am2-F2-/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可