107 スピンコーダ内における回転円板から飛散する液滴の挙動計測(流体工学(混相流2))

• 大瀬戸 太一

  熊本大

• 吉川 浩行

  熊本大

• 栗島 啓聡

  東京エレクトロン九州(株)

• 宗像 瑞恵

  熊本大

• 久保 慶一郎

  熊本大

書誌事項

タイトル別名

• 107 Measurements of Scattering Behavior of Droplets Spun OfiF from Rotating Disk Edge in the Spin Coater

収録刊行物

• 日本機械学会九州支部講演論文集

  日本機械学会九州支部講演論文集 2012.65 (0), 13-14, 2012

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• Rotating disk
• Scattering droplet
• Visualization
• Particle tracking velocimetiy

詳細情報

• CRID: 1390282680842700288
• NII論文ID: 110009952342
• DOI: 10.1299/jsmekyushu.2012.65.13
• ISSN: 24242780
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmekyushu/2012.65/0/2012.65_13/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles