193 XYクレーティングの高速校正に関する研究(機械力学・計測制御I,一般講演)

• 金 千載

  東北大院

• 清水 祐樹

  東北大

• 伊東 聡

  東北大

• 高 偉

  東北大

書誌事項

タイトル別名

• 193 Fast calibration of XY gratings

収録刊行物

• 東北支部総会・講演会　講演論文集

  東北支部総会・講演会　講演論文集 2012.47 (0), 192-193, 2012

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• Fast calibration
• XY grating
• Fizeau interferometer
• Period deviation
• Out-of-flatness

詳細情報

• CRID: 1390282680919817728
• NII論文ID: 110009954899
• DOI: 10.1299/jsmeth.2012.47.192
• ISSN: 24242713
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmeth/2012.47/0/2012.47_192/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles