昇華法によるAlN単結晶の育成

• 岩﨑 洋介

• 永田 俊郎

• 秋山 秀敏

Bibliographic Information

Other Title

• ショウカホウ ニ ヨル AlNタンケッショウ ノ イクセイ
• AlN Single Crystal Growth by means of Sublimation method
• 電子部品・材料
• デンシ ブヒン ・ ザイリョウ

Journal

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 114 (337), 1-4, 2014-11

  東京 : 電子情報通信学会

Keywords

• AlN
• 単結晶
• 昇華法
• 深紫外
• Single crystal
• Sublimation method
• Deep UV

Details

• CRID: 1520009408560511104
• NII Article ID: 110009971550
• NII Article ID: 110009971969
• NII Article ID: 110009971297
• NII Book ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL BIB ID: 025982778
• NDL BIB ID: 025983348
• NDL BIB ID: 025982036
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025982778
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025983348
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025982036
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles